SiC coating

VDR™(Vapor Deposition Reaction)

Feature of SiC Coated Graphite by VDR™

조도 향상

제너코트

처리공정	표면조도(Ra)	향상율 (%)
Lapping	391nm	Reference
Polishing	126nm	67.77%
Coating	75nm	40.48%

• 기계적인 처리 (Lapping & Polishing Process) → 표면 조도 향상
• 67% 표면조도 향상 (Lapping과 Polishing공정이후 비교)
• 40% 표면 조도 향상 (Polishing과 SiC Coating공정이후 비교)

SiC 침투력

제너코트

	Penetration Distance(㎛)	C(%)	SiC(%)
1	3.9	78.16	21.84
2	19.6	84.81	15.19
3	24.1	89.61	10.39
4	30.4	93.54	6.46
5	36.8	94.83	5.17
6	43	90.57	9.43
7	49.3	94.58	5.42
8	56.5	98.30	1.7
9	61.6	93.15	6.85
10	66.8	94.82	5.18

SiC 입자크기 조절 기술

Micro Hole 코팅