Loader
VDR Technologies

SiC coating

VDR™(Vapor Deposition Reaction)

Feature of SiC Coated Graphite by VDR™

조도 향상

제너코트
처리공정 표면조도(Ra) 향상율 (%)
Lapping 391nm Reference
Polishing 126nm 67.77%
Coating 75nm 40.48%
  • 기계적인 처리 (Lapping & Polishing Process) → 표면 조도 향상
  • 67% 표면조도 향상 (Lapping과 Polishing공정이후 비교)
  • 40% 표면 조도 향상 (Polishing과 SiC Coating공정이후 비교)

SiC 침투력

제너코트
Penetration Distance(㎛) C(%) SiC(%)
1 3.9 78.16 21.84
2 19.6 84.81 15.19
3 24.1 89.61 10.39
4 30.4 93.54 6.46
5 36.8 94.83 5.17
6 43 90.57 9.43
7 49.3 94.58 5.42
8 56.5 98.30 1.7
9 61.6 93.15 6.85
10 66.8 94.82 5.18

SiC 입자크기 조절 기술

Micro Hole 코팅